2830 ZT 波長(chang)色散 X 射(she)線熒光 (WDXRF) 晶(jing)圓分析(xi)儀提供了用(yong)于測量薄(bo)膜厚度(du)和(he)成分的功能。 2830 ZT 晶(jing)圓分析(xi)儀專門針對(dui)半導體和(he)數(shu)據存儲行業而設計，該儀器可為多種晶(jing)片（厚達 300 mm）測定層結構、厚度(du)、摻雜度(du)和(he)表面均勻性。

X射線熒光光譜儀晶圓分析儀馬爾文帕納科  特點

持(chi)續的性能和速度(du)

4 kW SST-mAX X 射(she)線(xian)管(guan)配備(bei)了(le)突(tu)破性(xing)的(de) ZETA 技(ji)術(shu)，可以(yi)(yi)(yi)消除 X 射(she)線(xian)管(guan)老(lao)化效應(ying)。 這種“全新(xin)射(she)線(xian)管(guan)"性(xing)能可以(yi)(yi)(yi)在(zai) X 射(she)線(xian)管(guan)整個壽(shou)命(ming)期(qi)間(jian)得到保持，同(tong)時(shi)高靈敏度與 ZETA 技(ji)術(shu)相結合，確保了(le)在(zai) X 射(she)線(xian)管(guan)壽(shou)命(ming)期(qi)間(jian)可以(yi)(yi)(yi)一直提供(gong)快速的(de)分析和簡短的(de)測(ce)量時(shi)間(jian)。 ZETA 技(ji)術(shu)顯著(zhu)減少了(le)對于漂移校(xiao)正和重新(xin)校(xiao)準(zhun)的(de)需求，從而(er)提高了(le)儀器的(de)生產(chan)率和正常(chang)運行時(shi)間(jian)。

正(zheng)常運行時(shi)間(jian)大大提升

傳統(tong) X 射線管(guan)會出(chu)現鎢燈絲揮發，從而(er)(er)導致光管(guan)鈹(pi)窗內部出(chu)現沉淀物污染鈹(pi)窗。 使用此類 X 射線管(guan)的儀(yi)器需(xu)要定期進行(xing)漂移校正以補(bu)償下降的強度，尤其是對于輕(qing)元素而(er)(er)言。

2830 ZT 采(cai)用 SST-mAX 射線管解決(jue)了這一漂移(yi)問題(ti)，從(cong)而大大提升了正常運(yun)行時(shi)間并能夠隨著時(shi)間的推(tui)移(yi)維持儀(yi)器精度。

易于使用(yong)

2830 ZT 配置SuperQ 軟件，該軟件包含了 FP Multi - 一個專門針對多層分析開發的專用軟件包。 該軟件的用戶界面確保即使是沒有經驗的操作員也可以對多層進行全自動的基本參數分析。
該儀器的 SuperQ 軟件具有多種易于使用的模塊，這些模塊能夠方便研究者和工程師進行靈活的操作。 可以輕松切換配方和調整設備參數以適應用戶偏好。

FALMO-2G

FALMO-2G 可輕松集(ji)成到任意(yi)實驗室或晶片廠中(zhong)：從簡單(dan)的(de)(de)(de)人工托架裝(zhuang)載(zai)到全自動。 *靈活(huo)的(de)(de)(de)設(she)計讓晶片廠經理能夠選擇 FOUP、SMIF 或開(kai)放式裝(zhuang)入(ru)端口，配(pei)有一個或兩(liang)個裝(zhuang)入(ru)端口配(pei)置。 各(ge)種配(pei)置的(de)(de)(de) FALMO-2G 均受到符合 GEM300 的(de)(de)(de)軟件支持(chi)。 FALMO-2G 的(de)(de)(de)占地空間大大降低，而沒有損失靈活(huo)性(xing)、功(gong)能。

應(ying)用

靈活操作

該儀器的 SuperQ 軟件(jian)具備(bei)多種易用使用的模塊，這(zhe)些模塊能夠方便研(yan)究者(zhe)和工程(cheng)師進(jin)行(xing)靈活(huo)的操作。 可以(yi)輕松切換配方和調(diao)整設備(bei)參(can)數(shu)以(yi)適(shi)應用戶偏好。

技術指標