日本三豐525系列CNC超級表面粗糙度測量儀 福建三豐代理技(ji)術參(can)數 :

X1 軸

測量(liang)范圍 : 200mm

分辨率(lv) : 0.00625µm

檢測(ce)方法 : 激光(guang)全息光(guang)柵尺

測量速度(du) : 0.02 - 0.2mm/s （表面粗糙度(du)）0.02 - 2mm/s （形狀/輪(lun)廓）

測量方(fang)向(xiang) : 向(xiang)前／向(xiang)后

直(zhi)線度 : （0.1+0.0015L）µm 使(shi)用標(biao)準測針（0.2+0.0015L）µm使(shi)用二(er)倍長型測針

直線度 : （0.05+0.0003L）µm 使用標(biao)準測針（0.1+0.0015L）µm使用二倍長(chang)型測針（CS-H5000CNC）

指示精度 （20oC）: ±（0.3+0.002L）µm

指示精度(du) （20oC）: ±（0.16+0.001L）µm

L 為驅動長度 （mm）

日本三豐525系列CNC超級表面粗糙度測量儀Z1 軸

測量范圍 : 12mm （使用標(biao)準測針）

24mm （使用二倍長型測針）

分(fen)辨率 : 0.004µm （使(shi)用(yong)標準(zhun)測針）

0.008µm （使(shi)用二(er)倍長(chang)型測(ce)針）

0.001µm （使用標準測針）（CS-H500CNC）

0.002µm （使用二倍(bei)長型測針）（CS-H500CNC）

測針(zhen)上／下運作 : 弧形運動

檢(jian)測(ce)方法 : 激光(guang)全(quan)息光(guang)柵尺(chi)

指示(shi)精度 （20oC）: ±（0.3+I0.02HI）µm

指(zhi)示精度 （20oC）: ±（0.07+I0.02HI）µm

H 為(wei)測量(liang)高度 （mm）

測力 : 4mN （使(shi)用(yong)標(biao)準測針）

0.75mN （使用二(er)倍(bei)長型測(ce)針）

跟蹤角度 : 向上 60o, 向下 60o

（取決于表面粗糙度）

測針針尖(jian) : 參見 L-22 頁

測針方向 : 向下

Z2 軸 （立柱）

測量范(fan)圍 : 300mm 或(huo) 500mm

*CS-H5000CNC : 僅 300mm

分辨率 : 0.05µm

檢測方(fang)法 : 反(fan)射型(xing)線性(xing)編碼器

0 - 50mm/s （操縱(zong)桿控制模式）

基座尺寸 （W x D）: 750 x 600mm

基(ji)座(zuo)材(cai)料 : 花崗巖

超級輪廓測量裝置Y 軸 *

測(ce)量(liang)范圍 : 200mm

分辨(bian)率 : 0.05µm

0~50mm/s （操縱桿控(kong)制模(mo)式）

直(zhi)線度 : 0.5µm/200mm

指示精度 （20oC）: ±（2+2L/200）µm

L 任意兩點(dian)間(jian)的長(chang)度 （mm）

尺(chi)寸 （W x D x H）: 800 x 620 x 1000mm

（800 x 620 x 1200mm: 高(gao)立柱型）

重(zhong)量 : 240kg （250kg: 高立柱型）