日本三豐mitutoyo218系列超級輪廓測量儀
CV-3000CNC,CV-40

X1 軸

測量范圍: 200mm

分辨率: 0.05μm

檢測方法: 反射型線性編碼器

0 - 60mm/s （操縱桿(gan)）

測量速(su)度: 0.02 - 2mm/s

測(ce)量方向(xiang): 向(xiang)前／向(xiang)后

直(zhi)線度: 2μm / 200mm

* 以X1 軸(zhou)為水平方向上(shang)

指示精(jing)度(du) (20oC 時(shi)): ±(1+4L/200)μm (CV-3000CNC),

±(0.8+4L/200)μm (CV-4000CNC)

* L = 驅(qu)動長度 (mm)

a 軸(zhou)

傾斜角度: -45o (CCW) - +10o (CW)

分辨率: 0.000225o

傾斜范圍(wei): 1rmp

Z2 軸 (立柱)

垂(chui)直(zhi)移動: 300mm 或 500mm

分辨率(lv): 0.05μm

檢測方法: 反射型線性(xing)編碼器

0 - 60mm/s (操縱桿)

基座(zuo)尺寸 (W x H): 750 x 600mm

基(ji)座材料(liao): 花崗巖(yan)

Z1 軸 (檢(jian)出器)

測量(liang)范圍(wei): ±25mm

分(fen)辨率: 0.2μm (CV-3000CNC),

0.05μm (CV-4000CNC)

檢測(ce)方法(fa): 線性編(bian)碼器 (CV-3000CNC)

激(ji)光(guang)全息光(guang)柵尺 (CV-4000CNC)

指(zhi)示精度(du): ± (2+I4HI/100)μm (CV-3000CNC)

(20oC 時) ± (0.8+I0.5HI/25)μm (CV-4000CNC)

*H 為(wei)水平(ping)位置上(shang)的(de)測(ce)量高度 (mm)

測針上(shang)／下(xia)運作 : 弧形運動

測針(zhen)方向(xiang): 向(xiang)上／向(xiang)下(xia)

測力: 30mN

跟(gen)蹤角度: 向上: 70o, 向下(xia): 70o (根據表面粗糙度，使用標準單切面測針)

測針(zhen)針(zhen)尖: 25μm, 硬質合金針(zhen)尖

日本三豐mitutoyo218系列超級輪廓測量儀

CV-3000CNC,CV-40

Y 軸

測量范圍 : 200mm

分辨(bian)率 : 0.05μm

0~60mm/s (操縱桿(gan)控制模式)

直線度(du) : 2μm/200mm

指(zhi)示精度 (20oC): ±(2+2L/100)μm

L = 任(ren)意兩點(dian)間的(de)長度 (mm)

重(zhong)量: 240kg, 250kg (高立(li)柱型)

(Y 軸工(gong)作臺與振動隔離(li)站(zhan)的重量除外)

電源: 100 – 240VAC ±10%, 50/60Hz

能(neng)耗: 500W (僅限(xian)主機)